Нүүрстөрөгчийн тетрафторид (CF4)

Техникийн параметрүүд

Нүүрстөрөгчийн тетрафторид нь CF4 химийн томъёотой галогенжүүлсэн нүүрсустөрөгч юм. Үүнийг галогенжүүлсэн нүүрсустөрөгч, галогенжүүлсэн метан, перфторкарбон эсвэл органик бус нэгдэл гэж үзэж болно. Нүүрстөрөгчийн тетрафторид нь өнгөгүй, үнэргүй хий бөгөөд усанд уусдаггүй, бензол, хлороформд уусдаг. Хэвийн температур, даралтын дор тогтвортой, хүчтэй исэлдүүлэгч бодис, шатамхай, шатамхай материалаас зайлсхий. Шатдаггүй хий, өндөр халуунд өртөх үед савны дотоод даралт нэмэгдэж, хагарах, дэлбэрэх аюултай. Энэ нь химийн хувьд тогтвортой, шатдаггүй. Өрөөний температурт зөвхөн шингэн аммиак-натрийн металлын урвалж ажиллах боломжтой. Нүүрстөрөгчийн тетрафторид нь хүлэмжийн үр нөлөөг үүсгэдэг хий юм. Энэ нь маш тогтвортой, агаар мандалд удаан хугацаагаар байх чадвартай, маш хүчтэй хүлэмжийн хий юм. Нүүрстөрөгчийн тетрафторидыг янз бүрийн нэгдсэн хэлхээний плазмын сийлбэрийн процесст ашигладаг. Үүнийг мөн лазер хий болгон ашигладаг бөгөөд бага температурт хөргөх бодис, уусгагч, тосолгооны материал, тусгаарлагч материал, хэт улаан туяаны мэдрэгчийг хөргөх шингэнд ашигладаг. Энэ нь микроэлектроникийн салбарт хамгийн их ашиглагддаг плазмын сийлбэрийн хий юм. Энэ нь өндөр цэвэршилттэй тетрафторметан хий, өндөр цэвэршилттэй тетрафторметан хий, өндөр цэвэршилттэй хүчилтөрөгчийн холимог юм. Цахиур, цахиурын давхар исэл, цахиурын нитрид, фосфосиликат шил зэрэгт өргөн хэрэглэж болно. Гянт болд, вольфрам зэрэг нимгэн хальсан материалыг сийлбэрлэх нь электрон төхөөрөмжийн гадаргууг цэвэрлэх, нарны зай үйлдвэрлэх, лазер технологи, бага температурт хөргөх, гоожсон эсэхийг шалгах, хэвлэмэл хэлхээний үйлдвэрлэлд угаалгын нунтаг зэрэгт өргөн хэрэглэгддэг. Нэгдсэн хэлхээнд бага температурт хөргөгч болон плазмын хуурай сийлбэр хийх технологи болгон ашигладаг. Хадгалахад анхаарах зүйлс: Агааржуулалттай, шатдаггүй хийн агуулахад хадгална. Гал, дулааны эх үүсвэрээс хол байлга. Хадгалах температур 30 хэмээс хэтрэхгүй байх ёстой. Үүнийг амархан (шатамхай) шатамхай бодис, исэлдүүлэгчээс тусад нь хадгалах ба холимог хадгалахаас зайлсхийх хэрэгтэй. Хадгалах талбай нь алдагдлыг яаралтай цэвэрлэх төхөөрөмжөөр тоноглогдсон байх ёстой.

Хэрэглээ:

① Хөргөгч:

Тетрафторметаныг заримдаа бага температурт хөргөгч болгон ашигладаг.

② Сийлбэр:

Цахиур, цахиурын давхар исэл, цахиурын нитридын сийвэн шингээгч болгон дангаар нь эсвэл хүчилтөрөгчтэй хослуулан электроникийн бичил үйлдвэрлэлд ашигладаг.

Ердийн багц:

Давуу тал:

①Өндөр цэвэршилттэй, хамгийн сүүлийн үеийн байгууламж;

②ISO гэрчилгээ үйлдвэрлэгч;

③Хурдан хүргэлт;

④Алхам бүрт чанарыг хянах онлайн шинжилгээний систем;

⑤Дүүргэхээс өмнө цилиндртэй харьцах өндөр шаардлага, нарийн процесс;