Хэт өндөр цэвэршилт (UHP) хий нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарын амьдрал юм. ДЭЛГЭРЭНГҮЙ БАЙГУУЛЛАГУУДЫН НЭГДСЭН ХАМГИЙН ХАМГИЙН ХАМГИЙН ХАМГИЙН ХАМГИЙН ХАМГИЙН ХАМГИЙН ХАМГААЛАХ, ХЯНАЛТЫН ДЭЛГЭРЭХГҮЙ БАЙНА. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчдэд uhp хийн цэвэр байдлыг хангах чадвартай байх нь урьд өмнө байгаагүйгээс илүү чухал юм.

Хэт их цэвэршилт (UHP) Хий нь орчин үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчийн үйлдвэрлэлд бүрэн шүүмжлэлтэй байдаг

UHP хийн үндсэн програмын нэг нь interization-ийг дамжуулж байна: uhp бензин нь буптукторын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн эргэн тойрон дахь хамгаалалтын уур амьсгалыг хамгаалахад ашигладаг. Гэсэн хэдий ч инертаци бол хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчдэд хий ялгаруулдаг олон функц юм. Анхан шатны плазмын бэлгээс гаргаж, хэт өндөр даралтат ба хэт өндөр даралтаттай хийгүүрийн хий) олон төрлийн хохирлын хий гаттерууд болон хагас дамжуулалтын тоонд ашиглах шаардлагатай зүйл.

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбар дахь "үндсэн" хий нь багтдагазотын(ерөнхий цэвэрлэгээ, инерцийн хий),Арагсгай.хиголт(Тусгай дулаан дамжуулах тусгай шинж чанар бүхий инерц хий болгон ашигладаг) баустөрөгч(Хасалт, элэгдэл, элэгдлийн болон плазмын цэвэрлэгээ хийхэд олон үүрэг гүйцэтгэдэг.

Хагас дамжуулагч технологи нь хувьсан өөрчлөгдөж, өөрчлөгдсөн тул үйлдвэрлэлийн үйл явцад ашигласан хийнүүд байна. Өнөөдрийн, хагас дамжуулагч үйлдвэр үйлдвэрлэгч үйлдвэр үйлдвэрлэгч үйлдвэр нь өргөн хүрээний хий,кяптонбанасандэлНиттрен Трифлуорид (NF 3) ба Tungsten Hexafluide (wf 6).

Цэвэр ариун байдлыг нэмэгдүүлэх эрэлт

Анхны Арилжааны бичил зурагны шинэ бүтээл нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн гүйцэтгэлийн гүйцэтгэлийн талаархи ойролцоо экспоненциаль өсөлтийг гэрчилж байсан. Сүүлийн таван жилийн туршид энэ төрлийн гүйцэтгэлийн сайжруулалтад хүрэх хамгийн сайн арга замуудын нэг нь "Хэмжээ" -ийг өгөгдсөн зайг шахаж ав. Үүнээс тусгаас гадна (Chikesuser, SeigPED материаллаг материалыг сайжруулах нь Төхөөрөмжийн гүйцэтгэлтэй гүйцэтгэлээс хасахаар хийдэг.

Өнөөдрийг, тайрах хагас дамжуулагчийн эгзэгтэй хэмжээсүүд одоо маш их хэмжээтэй байгаа тул төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийг сайжруулах нь тийм ч жижиг юм. Үүний оронд хагас дамжуулагч судлаачид роман материал, 3D чип архитектурын хэлбэрээр шийдлийг хайж байна.

Өндөр арван жилийн өсөлт нь өнөөгийн хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүд нь хуучин, хуучин микрочуудаас хамаагүй хүчтэй байдаг. Гэхдээ тэд илүү эмзэг байдаг. 300 мм-ийн вафлийн ургацын технологи нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгч үйлдвэрлэхэд шаардагдах бохирдлын хяналтын түвшинг нэмэгдүүлжээ. Үйлдвэрлэлийн процесст бага зэрэг бохирдох нь (ялангуяа ховор эсвэл инертрийн хий) гамшигт хүргэлтийн эвдрэл гарахад хүргэдэг.

Ердийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчийн хувьд Ultra-өндөр цэвэрлэгээний хий нь силикон өөрөө хамгийн том материаллаг зардал юм. Эдгээр зардлыг зөвхөн хагас дамжуулагчдад шаардагдах эрэлт хэрэгцээг шинэ өндрийг хүртэл нэмэгдүүлэх болно. Европ дахь үйл явдлууд нь хэт өндөр даралттай байгалийн хийн зах зээлд нэмэлт тасалдал үүссэн. Украин бол дэлхийн хамгийн том экспортлогчдын нэг юмнасандэлтэмдэг; Оросын довтолгоо гэдэг нь ховор хий нь хязгаарлагдмал байдаг. Энэ эргээд бусад эрхэм жийргэвчний дутагдал, дээд зэргийн үнэкяптонбаКоонг.