Бор трихлорид (BCl3)нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд хуурай сийлбэр болон химийн ууршуулах (CVD) процесст түгээмэл хэрэглэгддэг органик бус нэгдэл юм. Энэ нь өрөөний температурт хүчтэй хурц үнэртэй өнгөгүй хий бөгөөд гидролизд орж давсны хүчил болон борын хүчил үүсгэдэг тул чийглэг агаарт мэдрэмтгий байдаг.

Бор трихлоридын хэрэглээ

Хагас дамжуулагчийн салбарт,Бор трихлоридголчлон хөнгөн цагааныг хуурай сийлбэрлэхэд болон цахиурын вафли дээр P хэлбэрийн бүс үүсгэх хольц болгон ашигладаг. Мөн GaAs, Si, AlN зэрэг материалыг сийлбэрлэхэд болон тодорхой хэрэглээнд борын эх үүсвэр болгон ашиглаж болно. Үүнээс гадна, борын трихлорид нь металл боловсруулах, шилний үйлдвэрлэл, химийн шинжилгээ, лабораторийн судалгаанд өргөн хэрэглэгддэг.

Бор трихлоридын аюулгүй байдал

Бор трихлоридидэмхий, хортой бөгөөд нүд, арьсанд ноцтой гэмтэл учруулж болзошгүй. Энэ нь чийглэг агаарт гидролизд орж хортой устөрөгчийн хлоридын хий ялгаруулдаг. Тиймээс харьцахдаа зохих аюулгүй байдлын арга хэмжээг авах шаардлагатай.Бор трихлоридхамгаалалтын хувцас, нүдний шил, амьсгалын замын хамгаалалтын хэрэгсэл өмсөх, агааржуулалт сайтай орчинд ажиллах зэрэг орно.