Эпитаксиал (өсөлт)Холимог Гаs

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд сайтар сонгосон суурь дээр химийн уурын тунадасжуулалтаар нэг буюу хэд хэдэн давхар материал ургуулахад ашигладаг хийг эпитаксиал хий гэж нэрлэдэг.

Түгээмэл хэрэглэгддэг цахиурын эпитаксиаль хийд дихлорсилан, цахиурын тетрахлорид болон бусад орно.силанГолчлон эпитаксиаль цахиурын тунадасжуулалт, цахиурын ислийн хальсан тунадасжуулалт, цахиурын нитридийн хальсан тунадасжуулалт, нарны зай болон бусад фоторецепторуудад зориулсан аморф цахиурын хальсан тунадасжуулалт гэх мэтэд ашиглагддаг. Эпитакси гэдэг нь дан талст материалыг суурь материалын гадаргуу дээр тунадасжуулж, ургуулах үйл явц юм.

Химийн уурын тунадасжилт (CVD) Холимог хий

CVD нь дэгдэмхий нэгдлүүдийг ашиглан хийн фазын химийн урвалаар тодорхой элементүүд болон нэгдлүүдийг тунадасжуулах арга, өөрөөр хэлбэл хийн фазын химийн урвалыг ашиглан хальс үүсгэх арга юм. Үүссэн хальсны төрлөөс хамааран ашигласан химийн уурын тунадас (CVD) хий нь мөн өөр өөр байдаг.

ДопингХолимог хий

Хагас дамжуулагч төхөөрөмж болон интеграл хэлхээ үйлдвэрлэхэд тодорхой хольцыг хагас дамжуулагч материалд хольж, шаардлагатай цахилгаан дамжуулах чанар, тодорхой эсэргүүцлийг өгөхийн тулд резистор, PN уулзвар, далд давхарга гэх мэтийг үйлдвэрлэдэг. Холингийн процесст ашигладаг хийг холингийн хий гэж нэрлэдэг.

Голчлон арсин, фосфин, фосфор трифторид, фосфор пентафторид, хүнцэл трифторид, хүнцэл пентафторид,борын трифторид, диборан гэх мэт

Ихэвчлэн хольцын эх үүсвэрийг эх үүсвэрийн шүүгээнд тээвэрлэгч хий (аргон, азот гэх мэт)-тэй хольдог. Хольсны дараа хийн урсгалыг диффузийн зууханд тасралтгүй шахаж, вафлийг тойрон эргэлдэж, вафлийн гадаргуу дээр хольц үүсгээд дараа нь цахиуртай урвалд орж хольцтой металл үүсгэдэг бөгөөд энэ нь цахиур руу шилждэг.

СийлбэрХийн холимог

Сийлбэр гэдэг нь суурь гадаргуу дээр шаардлагатай дүрслэх хэв маягийг олж авахын тулд фоторезист маск ашиглан тухайн хэсгийг хадгалахын зэрэгцээ фоторезист маскгүйгээр суурь дээрх боловсруулалтын гадаргууг (жишээлбэл, металл хальс, цахиурын исэл хальс гэх мэт) сийлэхийг хэлнэ.

Сийлбэрийн аргуудад нойтон химийн сийлбэр болон хуурай химийн сийлбэр орно. Хуурай химийн сийлбэрт ашигладаг хийг сийлбэрийн хий гэж нэрлэдэг.

Зуурмаг хий нь ихэвчлэн фторын хий (галогенид) байдаг, тухайлбалнүүрстөрөгчийн тетрафторид, азотын трифторид, трифторметан, гексафторэтан, перфторпропан гэх мэт.