Эпитаксиаль (өсөлт)Холимог Гаs

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрт нарийн сонгосон субстрат дээр химийн уурыг хуримтлуулах замаар материалын нэг буюу хэд хэдэн давхаргыг ургуулахад ашигладаг хийг эпитаксиаль хий гэж нэрлэдэг.

Түгээмэл хэрэглэгддэг цахиурын эпитаксиаль хийд дихлоросилан, цахиурын тетрахлорид басилан. Голчлон эпитаксиаль цахиурын тунадас, цахиурын ислийн хальс, цахиурын нитридын хальс, нарны эс болон бусад фоторецепторуудад аморф цахиурын хальс хуримтлуулах зэрэгт ашиглагддаг. Эпитакси нь субстратын гадаргуу дээр нэг талст материалыг хуримтлуулж, ургуулах процесс юм.

Химийн уурын хуримтлал (CVD) Холимог хий

CVD нь дэгдэмхий нэгдлүүдийг ашиглан хийн фазын химийн урвалаар тодорхой элемент, нэгдлүүдийг хуримтлуулах арга, өөрөөр хэлбэл хийн фазын химийн урвалыг ашиглан хальс үүсгэх арга юм. Үүссэн хальсны төрлөөс хамааран химийн уурын хуримтлал (CVD) хий нь бас өөр өөр байдаг.

ДопингХолимог хий

Хагас дамжуулагч төхөөрөмж, нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэлд тодорхой хольцыг хагас дамжуулагч материалд нэмэлтээр оруулдаг бөгөөд материалд шаардлагатай дамжуулалтын төрөл, резистор, PN уулзвар, булсан давхарга гэх мэтийг үйлдвэрлэхэд тодорхой эсэргүүцлийг өгдөг.

Үүнд голчлон арсин, фосфин, фосфорын трифторид, фосфорын пентафторид, хүнцлийн трифторид, хүнцэлийн пентафторид,бор трифторид, диборан гэх мэт.

Ихэвчлэн допингийн эх үүсвэрийг эх үүсвэрийн шүүгээнд зөөгч хийтэй (аргон, азот гэх мэт) холино. Холимогдсоны дараа хийн урсгалыг сарниулах зууханд тасралтгүй шахаж, өрөмийг хүрээлж, вафельний гадаргуу дээр нэмэлт бодисыг хуримтлуулж, дараа нь цахиуртай урвалд орж, цахиур руу шилждэг.

СийлбэрХийн хольц

Сийлбэр гэдэг нь субстратын гадаргуу дээр шаардлагатай дүрсний хэв маягийг олж авахын тулд фоторезист бүрээстэй хэсгийг хадгалахын зэрэгцээ субстрат дээрх боловсруулалтын гадаргууг (металл хальс, цахиурын ислийн хальс гэх мэт) сийлбэрлэх явдал юм.

Сийлбэрийн аргад нойтон химийн сийлбэр, хуурай химийн сийлбэр орно. Хуурай химийн сийлбэр хийхэд ашигладаг хийг сийлбэрийн хий гэж нэрлэдэг.

Сийлбэрийн хий нь ихэвчлэн фторын хий (галоген), тухайлбалнүүрстөрөгчийн тетрафторид, азотын трифторид, трифторметан, гексафтороэтан, перфторпропан гэх мэт.