Лазер хий нь электроникийн үйлдвэрлэлд голчлон лазерын хийн болон литографийн хийд ашиглагддаг. Гар утасны дэлгэцийн инноваци болон хэрэглээний талбайн өргөтгөлийн үр шимийг хүртэж, бага температурт полисиликон зах зээлийн цар хүрээ улам өргөжин тэлж, лазераар зөөлрүүлэх процесс нь TFT-ийн гүйцэтгэлийг мэдэгдэхүйц сайжруулсан. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд ArF эксимер лазерт ашигладаг неон, фтор, аргон хийнүүдийн дотроос неон нь лазерын хийн хольцын 96 гаруй хувийг эзэлдэг. Хагас дамжуулагч технологийг боловсронгуй болгосноор эксимер лазерын хэрэглээ нэмэгдэж, давхар өртөлтийн технологи нэвтэрснээр ArF эксимер лазерын хэрэглэдэг неон хийн эрэлт эрс нэмэгдсэн. Цахим тусгай хийг нутагшуулах ажлыг дэмжсэнээр дотоодын үйлдвэрлэгчид ирээдүйд зах зээлийн өсөлтийн орон зайг нэмэгдүүлэх болно.
Литографийн машин нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн үндсэн төхөөрөмж юм. Литографи нь транзисторын хэмжээг тодорхойлдог. Литографийн үйлдвэрлэлийн гинжин хэлхээний уялдаа холбоотой хөгжил нь литографийн машины нээлтийн түлхүүр юм. Тохиромжтой хагас дамжуулагч материал болох фоторезист, фотолитографийн хий, фотомаск, бүрэх, боловсруулах төхөөрөмж зэрэг нь технологийн өндөр агуулгатай. Литографийн хий нь литографийн машин нь гүн гүнзгий хэт ягаан туяа үүсгэдэг хий юм. Янз бүрийн литографийн хий нь янз бүрийн долгионы урттай гэрлийн эх үүсвэрийг үүсгэж болох ба тэдгээрийн долгионы урт нь литографийн машины гол цөмүүдийн нэг болох литографийн машины нарийвчлалд шууд нөлөөлдөг. 2020 онд литографийн машинуудын дэлхийн нийт борлуулалт 413 ширхэг байх ба үүнээс ASML борлуулалт 258 ширхэг 62%, Canon 122 ширхэг борлуулалт 30%, Nikon 33 ширхэг борлуулалт 8 хувийг тус тус эзэлж байна.
Шуудангийн цаг: 2021 оны 10-р сарын 15
