Лазер хий нь голчлон электроникийн салбарт лазераар шарах болон литографийн хийд ашиглагддаг. Гар утасны дэлгэцийн инноваци болон хэрэглээний цар хүрээг тэлснээр бага температурт полицахиурын зах зээлийн цар хүрээ улам өргөжиж, лазераар шарах процесс нь TFT-ийн гүйцэтгэлийг мэдэгдэхүйц сайжруулсан. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд ArF эксимер лазерт ашигладаг неон, фтор, аргон хийнүүдийн дунд неон нь лазерын хийн хольцын 96 гаруй хувийг эзэлдэг. Хагас дамжуулагчийн технологийг боловсронгуй болгосноор эксимер лазерын хэрэглээ нэмэгдэж, давхар цацрагийн технологийг нэвтрүүлснээр ArF эксимер лазерын хэрэглэдэг неон хийн эрэлт огцом өссөн. Электроникийн тусгай хийнүүдийг нутагшуулахыг дэмжих замаар дотоодын үйлдвэрлэгчид ирээдүйд зах зээлийн өсөлтийн илүү сайн орон зайтай болно.
Литографийн машин нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн гол тоног төхөөрөмж юм. Литографи нь транзисторын хэмжээг тодорхойлдог. Литографийн салбарын гинжин хэлхээний зохицуулалттай хөгжил нь литографийн машины нээлтийн түлхүүр юм. Фоторезист, фотолитографийн хий, фото маск, бүрэх, боловсруулах тоног төхөөрөмж зэрэг тохирох хагас дамжуулагч материалууд нь өндөр технологийн агууламжтай байдаг. Литографийн хий нь литографийн машин гүн хэт ягаан туяаны лазер үүсгэдэг хий юм. Өөр өөр литографийн хий нь өөр өөр долгионы урттай гэрлийн эх үүсвэрийг үүсгэж чаддаг бөгөөд тэдгээрийн долгионы урт нь литографийн машины гол цөмүүдийн нэг болох литографийн машины нягтралд шууд нөлөөлдөг. 2020 онд литографийн машины дэлхийн нийт борлуулалт 413 нэгж байх бөгөөд үүнээс ASML-ийн борлуулалт 258 нэгж 62%, Canon-ийн борлуулалт 122 нэгж 30%, Nikon-ийн борлуулалт 33 нэгж 8% байна.
Нийтэлсэн цаг: 2021 оны 10-р сарын 15
