Устөрөгчийн хлориднь цочирдомгүй үнэртэй өнгөт хий юм. Түүний усан уусмалыг давсны хүчил гэж нэрлэдэг бөгөөд мөн гидрохлорлорын хүчил гэж нэрлэдэг. Устөрөгчийн хлорид нь усанд маш их уусдаг. 0 ° C, 1 ширхэг ус нь 5 ширхэг устөрөгчийн хлоридыг уусгана.
Энэ нь дараах шинж чанар, шинж чанаруудтай байдаг.
1. Өндөр цэвэр байдал
Цахим ангийн цэвэр байдалустөрөгчийн хлоридмаш өндөр, ихэвчлэн PPM ба түүнээс дээш түвшинд байдаг, хагас түвшний, хагас түвшинд, хагас гучина үйлдвэрлэгч үйлдвэрлэх үйл ажиллагааг нэвтрүүлэх.
2. Илүүдэл байдал
Энэ нь хагас дамжуулагч материаллаг материал, тоног төхөөрөмжийг бохирдуулахаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд өөр бусад бодисын эсрэг урвал юм.
3. Өндөр тогтвортой байдал
Цён цэгустөрөгчийн хлоридерөнхийдөө найдвартай хагас дамжуулагч боловсруулалтыг хангахын тулд тогтвортой химийн бодис агуулдаг.
Халам гялалын конценполын явцыг боловсруулахад түрээслээлтээр агуулахын үндсэн утга нь:
1. Гадаргууг цэвэрлэх, бэлтгэл хийх
Үр дүнтэй гадаргуугийн цэвэрлэгч, цахим ангиустөрөгчийн хлоридэпитаксийн давхаргын чанар, цэвэр байдлын чанар, цэвэр байдлыг хангахын тулд субстрат гадаргуугаас исэл, хольцыг зайлуулахад ашиглагддаг.
2.ецаксаксийн өсөлтийн тусламж
EPEPAXIAL процессийн гадаргуугийн эмчилгээний төлөөлөгч болгон ашигладаг, eicaxial Layer-ийн чанарыг сайжруулахад тусалдаг бөгөөд epicaxial давхаргын чанарыг сайжруулахад тусалдаг бөгөөд торны чанарыг сайжруулах, торны согогийг сайжруулахад тусалдаг.
3. Substrate Prectrate
Хагас дамжуулагч төхөөрөмж, цахим анги бэлтгэхээс өмнөустөрөгчийн хлоридepicaxial давхарга ба субстратын наалдамхай суурийг сайжруулахын тулд субстрат гадаргууг эмчлэхэд ашиглаж болно.
4. Хадгаламжийн туслах төлөөлөгч
Химийн уурын цар хүрээ (CVD) эсвэл физик уурын цар хүрээ (PVD) эсвэл фазийн хэмжээг тогтоох (PVD), цахим зэрэглэлийн хөрс дамжуулах зориулалттай.
5. Хийн фазын шилжүүлгийн шилэн агент
Хийн фазын шилжүүлэг шилжүүлж, бусад GEASION-ийн бусад процессорыг суулгасан хувь, материалын жигд байдлыг тохируулахын тулд урвалын танхимд нэвтрүүлнэ.
Эдгээр шинж чанарууд нь цахим зэрэглэл хийдэгустөрөгчийн хлоридХагас дамжуулагч технологийн технологийн чухал агент, эцсийн төхөөрөмжийн гүйцэтгэл, найдвартай байдал.
Халуун биежилж, электрон хадгалах газарт ашигладаг, дөхөгч цэвэршүүлсэн материал, хрвардан бүхий тусгаарлагч, тоноглол, хратетын судлах
Ерөнхийдөө цахим зэрэглэлдустөрөгчийн хлориднь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн гаднах өргөн хэрэглээний өргөн хүрээтэй, өндөр цэвэр ариун бензин юм.
Шуудангийн цаг: 12-р сарын 17-20244