Устөрөгчийн хлоридхурц үнэртэй өнгөгүй хий юм. Түүний усан уусмалыг давсны хүчил гэж нэрлэдэг бөгөөд үүнийг давсны хүчил гэж нэрлэдэг. Устөрөгчийн хлорид нь усанд маш сайн уусдаг. 0 градусын температурт 1 эзэлхүүн ус 500 орчим боть устөрөгчийн хлоридыг уусгана.

Энэ нь дараахь шинж чанар, шинж чанартай байдаг.

1. Өндөр цэвэршилттэй

Цахим зэрэглэлийн цэвэр байдалустөрөгчийн хлоридХагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процесст ямар ч хольц оруулахгүй байхын тулд маш өндөр, ихэвчлэн ppm буюу түүнээс бага түвшинд байна.

2. Идэвхгүй байдал

Энэ нь бусад олон бодистой урвалд ордоггүй химийн идэвхгүй хий бөгөөд хагас дамжуулагч материал, тоног төхөөрөмжийг бохирдуулахаас урьдчилан сэргийлэхэд маш чухал юм.

3. Өндөр тогтвортой байдал

Цахим зэрэглэлустөрөгчийн хлоридХагас дамжуулагчийн найдвартай боловсруулалтыг хангахын тулд ерөнхийдөө тогтвортой химийн найрлагатай байдаг.

Хагас дамжуулагчийн боловсруулалтад электрон зэрэглэлийн устөрөгчийн хлоридын үндсэн хэрэглээнд дараахь зүйлс орно.

1. Гадаргууг цэвэрлэх, бэлтгэх

Гадаргууг үр дүнтэй цэвэрлэгч, электрон зэрэглэлийнустөрөгчийн хлоридэпитаксиаль давхарга эсвэл хальсны чанар, цэвэр байдлыг хангахын тулд субстратын гадаргуугаас исэл ба хольцыг зайлуулахад ашигладаг.

2.Эпитаксийн өсөлтийг дэмжих

Эпитаксиаль процесст гадаргууг цэвэрлэх бодис болгон ашигладаг бөгөөд энэ нь эпитаксиаль давхаргын чанарыг сайжруулж, торны тохирох байдлыг сайжруулж, торны согог үүсэхийг багасгахад тусалдаг.

3. Субстратын урьдчилсан боловсруулалт

Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийг бэлтгэхийн өмнө электрон зэрэглэлийнустөрөгчийн хлоридэпитаксиаль давхарга ба субстрат хоорондын наалдацыг сайжруулахын тулд тогтвортой суурийг бий болгохын тулд субстратын гадаргууг эмчлэхэд ашиглаж болно.

4. Туналтын туслах бодис

Химийн уурын хуримтлал (CVD) эсвэл физик уурын хуримтлал (PVD) үйл явцад электрон агуулгатай устөрөгчийн хлоридыг хагас дамжуулагч материалын хуримтлуулах урвалд оролцохын тулд хийн фазын дамжуулагч болгон ашиглаж болно.

5. Хийн фазын дамжуулагч бодис

Хийн фазын дамжуулагчийн хувьд бусад хийн прекурсоруудыг урвалын камерт оруулж, материалын хуримтлалын хурд, жигд байдлыг тохируулахад тусалдаг.

Эдгээр шинж чанарууд нь цахим зэрэглэлийг бий болгодогустөрөгчийн хлоридэцсийн төхөөрөмжийн гүйцэтгэл, найдвартай байдалд гол нөлөө үзүүлдэг хагас дамжуулагч технологийн чухал боловсруулагч бодис.

Хагас дамжуулагчийн боловсруулалтад ашиглахаас гадна электрон агуулгатай устөрөгчийн хлорид нь өндөр цэвэршилттэй материал бэлтгэх, түлшний эсүүд, хагас дамжуулагч материалын өсөлт, уурын фазын литографи, материалын шинжилгээ, химийн судалгаа зэрэг бусад салбарт олон төрлийн хэрэглээг олж чадна.

Ерөнхийдөө цахим зэрэглэлустөрөгчийн хлориднь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлээс гадна өргөн хүрээний хэрэглээтэй, олон талт, өндөр цэвэршилттэй хий юм.