Устөрөгчийн хлориднь хурц үнэртэй өнгөгүй хий юм. Үүний усан уусмалыг давсны хүчил гэж нэрлэдэг бөгөөд үүнийг давсны хүчил гэж нэрлэдэг. Устөрөгчийн хлорид нь усанд маш сайн уусдаг. 0°C-д 1 эзэлхүүн ус нь 500 орчим эзэлхүүн устөрөгчийн хлоридыг уусгаж чадна.

Энэ нь дараах шинж чанар, онцлог шинж чанартай:

1. Өндөр цэвэршилттэй

Электрон ангийн цэвэр байдалустөрөгчийн хлоридхагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст ямар ч хольц орохгүй байхыг баталгаажуулахын тулд маш өндөр, ихэвчлэн ppm эсвэл түүнээс бага түвшинд байдаг.

2. Идэвхгүй байдал

Энэ нь бусад олон бодисуудтай урвалд ордоггүй химийн идэвхгүй хий бөгөөд хагас дамжуулагч материал, тоног төхөөрөмжийн бохирдлоос урьдчилан сэргийлэхэд маш чухал юм.

3. Өндөр тогтвортой байдал

Цахим зэрэгустөрөгчийн хлоридерөнхийдөө хагас дамжуулагчийн боловсруулалтын найдвартай байдлыг хангахын тулд тогтвортой химийн найрлагатай байдаг.

Хагас дамжуулагч боловсруулалтад электрон зэрэглэлийн устөрөгчийн хлоридын үндсэн хэрэглээнд дараахь зүйлс орно.

1. Гадаргууг цэвэрлэх болон бэлтгэх

Үр ашигтай гадаргуу цэвэрлэгч тул электрон зэрэглэлийнустөрөгчийн хлоридэпитаксиал давхарга эсвэл хальсны чанар, цэвэр байдлыг хангахын тулд суурь гадаргуугаас исэл болон хольцыг зайлуулахад ашигладаг.

2. Эпитаксиал өсөлтийн тусламж

Эпитаксиал процесст гадаргуугийн боловсруулалтын бодис болгон ашигладаг тул эпитаксиал давхаргын чанарыг сайжруулж, торны тохирлыг сайжруулж, торны гажиг үүсэхийг бууруулдаг.

3. Субстратыг урьдчилан боловсруулах

Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийг бэлтгэхийн өмнө электрон зэрэглэлустөрөгчийн хлоридэпитаксиал давхарга ба суурь хоорондын наалдацыг сайжруулахын тулд суурь гадаргууг тогтвортой суурь болгоход ашиглаж болно.

4. Тунадасжуулах туслах бодис

Химийн уурын тунадасжуулалт (CVD) эсвэл физик уурын тунадасжуулалт (PVD) процесст электрон зэрэглэлийн устөрөгчийн хлоридыг хагас дамжуулагч материалын тунадасжуулалтын урвалд оролцохын тулд хийн фазын дамжуулах орчин болгон ашиглаж болно.

5. Хийн фазын дамжуулагч бодис

Хийн фазын дамжуулагч бодис болгон бусад хийн урьдал бодисуудыг урвалын камерт оруулж, материалын тунадасны хурд болон жигд байдлыг тохируулахад тусалдаг.

Эдгээр шинж чанарууд нь электрон зэрэглэлийг бий болгодогустөрөгчийн хлоридхагас дамжуулагч технологийн чухал боловсруулалтын бодис бөгөөд эцсийн төхөөрөмжийн гүйцэтгэл болон найдвартай байдалд гол нөлөө үзүүлдэг.

Хагас дамжуулагч боловсруулахад ашиглахаас гадна электрон зэрэглэлийн устөрөгчийн хлорид нь өндөр цэвэршилттэй материал бэлтгэх, түлшний элемент, хагас дамжуулагч материалын өсөлт, уурын фазын литографи, материалын шинжилгээ, химийн судалгаа зэрэг бусад салбарт олон төрлийн хэрэглээтэй байдаг.

Ерөнхийдөө электрон зэрэглэлустөрөгчийн хлориднь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлээс гадна өргөн хүрээний хэрэглээтэй, олон талын хэрэглээтэй, өндөр цэвэршилттэй хий юм.