Харьцангуй дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн процессын процессын үйлдвэрлэлийн үйлдвэрлэлийн үйл явцыг харьцангуй дэвшилтэт үйл явцын процесс, бараг 50 өөр төрлийн хий шаардлагатай байдаг. Хий нь ерөнхийдөө их хэмжээгээр хуваагддаг батөрийн эмчилгээ.

Микроэлектроник болон хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл, хагас дамжуулагч ашиглалтын үйл явц нь үргэлж хагас дамжуулагч үйл явцад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Ulsi, tft-lcd-ээс одоогийн бичил агуулсан, хагас дамжуулагч, исэл, исэлдүүлэх, исэлдүүлэх, исэлдүүлэх, и-с суулгац, нимгэн халхавч, нимгэн халхавч хэлбэрээр ашигладаг.

Жишээлбэл, олон хүн чипсийг элэггээр хийдэг, гэхдээ зурагчин, өнгөлгөө, өнгөлгөөний шингэн, зорилтот материалыг харахад илүү их материалыг хайж байдаг. Буцах багц багц нь субстрат, харилцан үйлчлэгч, харилцан үйлчлэгч, интернепрочид, баригдах хүрээ, баригдах материалууд гэх мэт. Цахим тусгай хий нь силикон вафф, фото, фоторесистуудын дараа хагас томоохон хэмжээний үйлдвэрлэлийн зардал юм.

Хийн цэвэр байдал нь бүрэлдэхүүн хэсэг, бүтээгдэхүүний гүйцэтгэл, бүтээгдэхүүний ургац, хийн хангамжийн талаархи шийдвэрлэх, хийн хангамжийн аюулгүй байдал нь боловсон хүчний эрүүл мэндэд хамааралтай бөгөөд үйл ажиллагааны аюулгүй байдал, үйлдвэрийн үйл ажиллагааны аюулгүй байдалтай холбоотой. Хий цэвэр ариун байдал яагаад процессын шугам, ажилтнуудад ийм нөлөө үзүүлдэг вэ? Энэ бол хэтрүүлэг биш, гэхдээ хий нь өөрөө аюултай шинж чанараар тодорхойлогддог.

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбар дахь нийтлэг хийн ангилал

Хэвийн эрмэг

Жирийн хий мөн бөөн боодон хий гэж нэрлэдэг. Энэ нь өөр өөр бэлтгэлийн аргуудын дагуу агаарт салгах хийн болон синтетик бензин хувааж болно. Устөрөгч (H2), нитроген (n2), хүчилтөрөгч (O2), offygen (A2), arc.

Мэргэн бойн

ТУСГАЙ ХУГАЦААНЫ АЖИЛЛАГААНЫ АЖИЛЛАГААНЫ ТӨЛӨВЛӨГӨӨГИЙН ГАЗРЫН ХАМГААЛАХ, ТУСГАЙ, ТУСГАЙ, ТУСГАЙ, ТАТВАР, БҮТЭЭГДЭХҮҮНИЙ ТӨЛӨВЛӨГӨӨ. ИхэнхдээSih4, PH3, B2H6, A8H3,H бүс, CF4,NH3, Pocl3, sih2cl2, sihcl2,NH3, Bcl3, SIF4, CLF3, COF3, CO, C C2F6, N2O, F2, HF, HF, HF,SF6... гэх мэт.

ХӨГЖЛИЙН ХУВИЙН ХУВЬЦАА

Тусгай хийний төрөл: идэмхий, хортой, шатамхай, шатамхай, шатамхай, шаталт, инерц, инерц гэх мэт.
Түгээмэл хэрэглэгддэг хагас дамжуулагч хий нь дараахь байдлаар ангилдаг.
(i) зэврэлт / хортой:H бүс, Bf3, wf3, hb6, hbr, sih2cl2, nh3, nh3, ph3, cl2,Bcl3...
(II) шатамхай: H2,Ch4БаSih4, PH3, ASH3, SHIH3CL2, B2H6, CH2F2, CH2F2, CH3F, CO ...
(III) шатаах боломжтой: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) inter: n2,CF4, C2f6,C4f8БаSF6, CO2,NeБаKr, Тэр ...

Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх, exired тусгай төрлийн тусгай хий, тархалт, тарилга, тарилга, фотозитограф, Жишээлбэл, PH3 болон Ash3, ASHER3 нь фосфор, ASPOR-ийг фосфор, Арсерик, ХУВИЙН ХУВЬЦАА, ХУВЬЦААНЫ АЖИЛЛАГАА, F2, NHOM / NHETOR-ийг Photoletock процессор дээр ашигладаг.

Дээрх талаас нь хагас дамжуулагч хий нь хүний ​​биед хортой гэдгийг ойлгож чадна. Ялангуяа SIH4 гэх мэт зарим хийнүүд, жишээ нь өөрөө гал авалцдаг. Тэд гоожих хүртэл тэд агаарт хүчилтөрөгчтэй хүчтэй хариу үйлдэл хийж, шатаж эхэлнэ; ash3 нь маш хортой. Хүмүүсийн өч чадаагүй зүйл нь хүмүүсийн амь насгүй үед хүмүүсийн амьдралаар үзүүлдэг, гэвэл Тусгай хийг хэрэгжинод хяналт тавих шаардлага тодтой байдлын системийг ялангуяа хий олгох шаардлагачид нь ялангуяа өндөр байдаг.

Хагас дамжуулагч нь өндөр цэвэршүүлэх хий шаардагддаг "гурван градус"

Хийн цэнгэх

Хийн бохирдуулагч уур амьсгалын агуулга нь ихэвчлэн 99.9999% гэх мэт хийн цэвэр байдлын хувийг ихэвчлэн илэрхийлдэг. Generally speaking, the purity requirement for electronic special gases reaches 5N-6N, and is also expressed by the volume ratio of impurity atmosphere content ppm (part per million), ppb (part per billion), and ppt (part per trillion). Цахим хагас дамжуулагч талбар нь тусгай хий цэвэр ариун, чанарын тогтвортой байдлын хамгийн өндөр шаардлага хангасан бөгөөд электрон тусгай хий, цахим тусгай хийнүүд нь ерөнхийдөө 6n-ээс их байдаг.

Ган ганчиг

Хий, нойтон, нойтон, нойтон, норгоно нь ихэвчлэн aterosheric dew цэг гэх мэт шүүдэр цэг дээр ихэвчлэн илэрхийлэгддэг.

Цэвэр байдал

Бензин дэх бохирдуулагч тоосонцорын тоо, бөөмийн хэмжээ, мкм-ийн тоосонцор, тоосонцорын хэмжээ нь хичнээн тоосонцор / m3-д илэрхийлдэг. Шахсан агаарт, энэ нь ихэвчлэн газрын тосны агууламж орно.