2018 онд нэгдсэн хэлхээний дэлхийн электрон хийн зах зээл 4.512 тэрбум ам.долларт хүрч, өнгөрсөн оны мөн үеэс 16%-иар өссөн байна. Хагас дамжуулагчийн электрон тусгай хийн үйлдвэрлэлийн өндөр өсөлт, зах зээлийн асар том хэмжээ нь цахим тусгай хийн дотоодын орлуулах төлөвлөгөөг хурдасгасан!
Электрон хий гэж юу вэ?
Цахим хий гэдэг нь хагас дамжуулагч, хавтгай дэлгэц, гэрэл ялгаруулах диод, нарны зай болон бусад электрон бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэхэд ашигладаг үндсэн эх материалыг хэлдэг бөгөөд цэвэрлэх, сийлбэрлэх, хальс үүсгэх, допинг болон бусад процессуудад өргөн хэрэглэгддэг. Цахим хийн хэрэглээний гол чиглэлүүд нь электроникийн үйлдвэрлэл, нарны зай, хөдөлгөөнт холбоо, автомашины навигаци, автомашины аудио, видео систем, сансар огторгуй, цэргийн үйлдвэрлэл болон бусад олон салбарууд юм.
Цахиурын тусгай хий нь цахиур, хүнцэл, фосфор, бор, металл гидрид, галид, металл алкоксид гэсэн химийн найрлагаараа долоон төрөлд хуваагдана. Нэгдсэн хэлхээнд хэрэглэх янз бүрийн аргын дагуу үүнийг допингийн хий, эпитаксийн хий, ион суулгацын хий, гэрэл ялгаруулах диодын хий, сийлбэрийн хий, химийн уурын хуримтлуулах хий, балансын хий гэж хувааж болно. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд 110 гаруй нэгж тусгай хий ашигладаг бөгөөд үүнээс 30 гаруй нь түгээмэл хэрэглэгддэг.
Ерөнхийдөө хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбар нь хийг ердийн хий ба тусгай хий гэж хоёр төрөлд хуваадаг. Тэдгээрийн дотроос түгээмэл хэрэглэгддэг хий нь төвлөрсөн хангамжийг хэлдэг бөгөөд N2, H2, O2, Ar, He гэх мэт маш их хий хэрэглэдэг. Тусгай хий нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх процесст хэрэглэгддэг зарим химийн хийг хэлдэг. өргөтгөх, ион шахах, холих, угаах, маск үүсгэх зэрэг нь өндөр цэвэршилттэй SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, гэх мэт электрон тусгай хий гэж нэрлэгддэг. HCl, Cl2 гэх мэт.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн бүхий л үйл явц, чипний өсөлтөөс эхлээд төхөөрөмжийн эцсийн савлагаа хүртэл бараг бүх холбоос нь электрон тусгай хийтэй салшгүй холбоотой бөгөөд ашигласан хий нь төрөл бүрийн, чанарын өндөр түвшинд тавигддаг тул электрон хий нь хагас дамжуулагч материалтай байдаг. "Хоол".
Сүүлийн жилүүдэд Хятадын хагас дамжуулагч, дэлгэцийн хавтан зэрэг гол электрон эд ангиудын үйлдвэрлэлийн шинэ хүчин чадал нэмэгдэж, химийн электрон материалын импортыг орлох эрэлт хэрэгцээ их байна. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд электрон хийн байр суурь улам бүр нэмэгдсээр байна. Дотоодын электрон хийн үйлдвэрлэл хурдацтай өсөлтийг бий болгоно.
Цахим тусгай хий нь цэвэр байдлын хувьд маш өндөр шаардлага тавьдаг тул цэвэршилт нь шаардлагад нийцэхгүй бол электрон тусгай хий дэх усны уур, хүчилтөрөгч зэрэг хольцын бүлгүүд хагас дамжуулагчийн гадаргуу дээр исэлдүүлэх хальс үүсгэдэг. электрон төхөөрөмжүүдийн ашиглалтын хугацаа, электрон тусгай хий агуулсан хольцын хэсгүүд нь хагас дамжуулагчийн богино холболт болон хэлхээний эвдрэлийг үүсгэдэг. Цахим төхөөрөмжийн үйлдвэрлэлийн гарц, гүйцэтгэлд цэвэршилтийг сайжруулах нь чухал үүрэг гүйцэтгэдэг гэж хэлж болно.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл тасралтгүй хөгжихийн хэрээр чип үйлдвэрлэх үйл явц тасралтгүй сайжирч, одоо 5 нм хүрч, хүний үсний диаметрийн хорьны нэгтэй тэнцэх Мурын хуулийн хязгаарт ойртох гэж байна. ойролцоогоор 0.1 мм). Тиймээс энэ нь хагас дамжуулагчаас гаргаж авсан электрон тусгай хийн цэвэр байдалд илүү өндөр шаардлага тавьдаг.
Шуудангийн цаг: 2021 оны 12-р сарын 15
