2018 онд интеграл хэлхээний дэлхийн электрон хийн зах зээл 4.512 тэрбум ам.долларт хүрч, өмнөх оны мөн үеэс 16%-иар өссөн байна. Хагас дамжуулагчийн электрон тусгай хийн салбарын өндөр өсөлтийн хурд болон зах зээлийн асар том хэмжээ нь электрон тусгай хийн дотоодын орлуулалтын төлөвлөгөөг хурдасгасан!
Электрон хий гэж юу вэ?
Электрон хий гэдэг нь хагас дамжуулагч, хавтгай дэлгэц, гэрэл ялгаруулах диод, нарны зай болон бусад электрон бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэхэд ашигладаг үндсэн эх үүсвэрийг хэлдэг бөгөөд цэвэрлэх, сийлбэрлэх, хальс үүсгэх, хольц бэлтгэх болон бусад процесст өргөн хэрэглэгддэг. Электрон хийн гол хэрэглээний чиглэлд электроникийн үйлдвэрлэл, нарны зай, гар утасны холбоо, автомашины навигаци болон автомашины аудио, видео систем, сансар судлал, цэргийн үйлдвэрлэл болон бусад олон салбар орно.
Электрон тусгай хий нь өөрийн химийн найрлагаар нь долоон ангилалд хуваагддаг: цахиур, хүнцэл, фосфор, бор, металл гидрид, галоген болон металл алкоксид. Интеграл хэлхээнд хэрэглэх янз бүрийн аргын дагуу үүнийг допингийн хий, эпитакси хий, ионы суулгацын хий, гэрэл ялгаруулах диодын хий, сийлбэрийн хий, химийн уурын тунадасжуулалтын хий, тэнцвэрийн хий гэж хувааж болно. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд 110 гаруй нэгж тусгай хий ашигладаг бөгөөд үүнээс 30 гаруй нь түгээмэл хэрэглэгддэг.
Ерөнхийдөө хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбар нь хийг хоёр төрөлд хуваадаг: нийтлэг хий ба тусгай хий. Тэдгээрийн дотроос түгээмэл хэрэглэгддэг хий нь төвлөрсөн хангамжийг хэлдэг бөгөөд N2, H2, O2, Ar, He гэх мэт их хэмжээний хий ашигладаг. Тусгай хий гэдэг нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст ашигладаг зарим химийн хийг хэлдэг, тухайлбал сунгалт, ион шахах, холих, угаах, маск үүсгэх гэх мэт. Үүнийг бид одоо өндөр цэвэршилттэй SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 гэх мэт электрон тусгай хий гэж нэрлэдэг.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн бүх үйлдвэрлэлийн процесст, чипийн өсөлтөөс эхлээд төхөөрөмжийн эцсийн сав баглаа боодол хүртэл бараг бүх холбоос нь электрон тусгай хий, ашигласан хийн олон янз байдал, өндөр чанарын шаардлагаас салшгүй холбоотой тул электрон хий нь хагас дамжуулагч материалтай байдаг. "Хүнс".
Сүүлийн жилүүдэд Хятадын хагас дамжуулагч, дэлгэцийн хавтан зэрэг томоохон электрон эд ангиудын үйлдвэрлэлийн шинэ хүчин чадал нэмэгдэж, электрон химийн материалыг импортоор орлох эрэлт хэрэгцээ өндөр байна. Хагас дамжуулагчийн салбарт электрон хийн байр суурь улам бүр чухал болж байна. Дотоодын электрон хийн үйлдвэрлэл хурдацтай хөгжих болно.
Электрон тусгай хий нь цэвэршилтийн маш өндөр шаардлага тавьдаг, учир нь цэвэршилт нь шаардлагад нийцэхгүй бол электрон тусгай хий дэх усны уур, хүчилтөрөгч зэрэг хольцын бүлгүүд хагас дамжуулагчийн гадаргуу дээр исэл хальс амархан үүсгэдэг бөгөөд энэ нь электрон төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацаанд нөлөөлдөг бөгөөд электрон тусгай хий нь хольцын хэсгүүдийг агуулдаг бөгөөд хагас дамжуулагчийн богино холболт, хэлхээний эвдрэлд хүргэдэг. Цэвэршилтийг сайжруулах нь электрон төхөөрөмжийн үйлдвэрлэлийн гарц, гүйцэтгэлд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг гэж хэлж болно.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тасралтгүй хөгжлөөр чип үйлдвэрлэх үйл явц сайжирсаар байгаа бөгөөд одоо 5 нм-д хүрсэн нь хүний үсний диаметрийн хорин нэгтэй тэнцэх (ойролцоогоор 0.1 мм) Мурын хуулийн хязгаарт ойртох гэж байна. Тиймээс энэ нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэсэн электрон тусгай хийн цэвэр байдалд өндөр шаардлага тавьж байна.
Нийтэлсэн цаг: 2021 оны 12-р сарын 15
