Манай улсын хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл болон хавтангийн үйлдвэрлэл өндөр түвшинд хөгжсөн хэвээр байна. Азотын трифторид нь хавтан болон хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх, боловсруулахад зайлшгүй шаардлагатай, хамгийн их хэмжээний тусгай электрон хий бөгөөд өргөн зах зээлийн орон зайтай.
Түгээмэл хэрэглэгддэг фтор агуулсан тусгай электрон хийнүүд нь дараахь зүйлийг агуулдаг.хүхрийн гексафторид (SF6), вольфрамын гексафторид (WF6),нүүрстөрөгчийн тетрафторид (CF4), трифторметан (CHF3), азотын трифторид (NF3), гексафторэтан (C2F6) болон октафторопропан (C3F8). Азотын трифторид (NF3)-ийг голчлон устөрөгчийн фтор-фторын хийн өндөр энергитэй химийн лазеруудад фторын эх үүсвэр болгон ашигладаг. H2-O2 ба F2 хоорондох урвалын энергийн үр дүнтэй хэсэг (ойролцоогоор 25%) нь лазерын цацраг туяагаар ялгардаг тул HF-OF лазерууд нь химийн лазеруудын дунд хамгийн ирээдүйтэй лазерууд юм.
Азотын трифторид нь микроэлектроникийн салбарт маш сайн плазмын сийлбэр хий юм. Цахиур болон цахиурын нитридийг сийлбэрлэхэд азотын трифторид нь нүүрстөрөгчийн тетрафторид болон нүүрстөрөгчийн тетрафторид ба хүчилтөрөгчийн холимогоос илүү өндөр сийлбэрийн хурд болон сонгомол чанартай бөгөөд гадаргуу дээр бохирдол үүсгэдэггүй. Ялангуяа 1.5 мкм-ээс бага зузаантай интеграл хэлхээний материалыг сийлбэрлэхэд азотын трифторид нь маш сайн сийлбэрийн хурд болон сонгомол чанартай бөгөөд сийлсэн объектын гадаргуу дээр ямар ч үлдэгдэл үлдээдэггүй бөгөөд мөн маш сайн цэвэрлэгээний бодис юм. Нанотехнологи хөгжиж, электроникийн салбар өргөн цар хүрээтэй хөгжсөнөөр түүний эрэлт хэрэгцээ өдөр бүр нэмэгдэх болно.
Фтор агуулсан тусгай хийн төрөл болох азотын трифторид (NF3) нь зах зээл дээрх хамгийн том электрон тусгай хийн бүтээгдэхүүн юм. Энэ нь өрөөний температурт химийн хувьд идэвхгүй, хүчилтөрөгчөөс илүү идэвхтэй, фтороос илүү тогтвортой бөгөөд өндөр температурт зохицуулахад хялбар байдаг.
Азотын трифторид нь голчлон плазмын сийлбэр хий болон урвалын камер цэвэрлэгч бодис болгон ашигладаг бөгөөд хагас дамжуулагч чип, хавтгай самбар дэлгэц, оптик шилэн кабель, фотоэлектрик эс гэх мэт үйлдвэрлэлийн салбарт тохиромжтой.
Бусад фтор агуулсан электрон хийнүүдтэй харьцуулахад азотын трифторид нь хурдан урвалд орох, өндөр үр ашигтай байх давуу талтай, ялангуяа цахиурын нитрид зэрэг цахиур агуулсан материалыг сийлэхэд өндөр сийлбэрийн хурд, сонгомол чанартай тул сийлсэн объектын гадаргуу дээр үлдэгдэл үлдээдэггүй, мөн маш сайн цэвэрлэгээний бодис бөгөөд гадаргууг бохирдуулдаггүй бөгөөд боловсруулах процессын хэрэгцээг хангаж чаддаг.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 12-р сарын 26
