Хамгийн их хэмжээний электрон тусгай хий - азотын трифторид NF3

Манай улсын хагас дамжуулагчийн үйлдвэр, хавтан үйлдвэрлэл нь өндөр хөгжилтэй хэвээр байна. Азотын трифторид нь хавтан ба хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэх, боловсруулахад зайлшгүй шаардлагатай бөгөөд хамгийн том эзэлхүүнтэй тусгай электрон хий бөгөөд зах зээлийн өргөн орон зайтай.

Түгээмэл хэрэглэгддэг фтор агуулсан тусгай электрон хий орнохүхрийн гексафторид (SF6), вольфрамын гексафторид (WF6),нүүрстөрөгчийн тетрафторид (CF4), трифторметан (CHF3), азотын трифторид (NF3), гексафтороэтан (C2F6) болон октафторпропан (C3F8). Азотын трифторид (NF3) нь устөрөгчийн фтор-фторын хий өндөр энергитэй химийн лазерын фторын эх үүсвэр болгон голчлон ашиглагддаг. H2-O2 ба F2 хоорондох урвалын энергийн үр дүнтэй хэсэг (ойролцоогоор 25%) нь лазерын цацрагаар ялгардаг тул HF-OF лазер нь химийн лазеруудын дунд хамгийн ирээдүйтэй лазер юм.

Азотын трифторид нь микроэлектроникийн салбарт маш сайн плазмын сийлбэр хийдэг хий юм. Цахиур, цахиурын нитридыг сийлбэрлэхийн тулд азотын трифторид нь нүүрстөрөгчийн тетрафторид ба нүүрстөрөгчийн тетрафторид ба хүчилтөрөгчийн холимогоос өндөр сийлбэрлэх хурд, сонгомол чанартай бөгөөд гадаргууг бохирдуулдаггүй. Ялангуяа 1.5 мм-ээс бага зузаантай нэгдсэн хэлхээний материалыг сийлбэрлэхдээ трифторид азот нь сийлбэрлэх хурд, сонгомол чанараараа маш сайн бөгөөд сийлсэн объектын гадаргуу дээр ямар ч үлдэгдэл үлдээдэггүй, мөн маш сайн цэвэрлэгч юм. Нано технологи хөгжихийн хэрээр электроникийн салбар өргөн цар хүрээтэй хөгжихийн хэрээр эрэлт хэрэгцээ нь өдрөөс өдөрт нэмэгдэх болно.

Фтор агуулсан тусгай хийн нэг төрөл болох азотын трифторид (NF3) нь зах зээл дээрх хамгийн том электрон тусгай хийн бүтээгдэхүүн юм. Энэ нь өрөөний температурт химийн хувьд идэвхгүй, хүчилтөрөгчөөс илүү идэвхтэй, фтороос илүү тогтвортой, өндөр температурт ажиллахад хялбар байдаг.

Азотын трифторидыг ихэвчлэн хагас дамжуулагч чипс, хавтгай дэлгэц, оптик утас, фотоволтайк эс гэх мэт үйлдвэрлэлийн салбарт тохиромжтой плазмын сийлбэрийн хий, урвалын камер цэвэрлэх бодис болгон ашигладаг.

Бусад фтор агуулсан электрон хийтэй харьцуулахад азотын трифторид нь хурдан урвалд ордог, өндөр үр ашигтай, ялангуяа цахиурын нитрид зэрэг цахиур агуулсан материалыг сийлбэрлэх, сийлсэн объектын гадаргуу дээр ямар ч үлдэгдэл үлдээхгүй, сийлбэрлэх чадвар, сонгомол чанар өндөртэй, мөн гадаргууг цэвэрлэх, цэвэрлэх хэрэгцээг маш сайн хангадаггүй давуу талтай. үйл явц.