Фтор агуулсан тусгай электрон хийд дараахь зүйлс орно.хүхрийн гексафторид (SF6), вольфрамын гексафторид (WF6),нүүрстөрөгчийн тетрафторид (CF4), трифторметан (CHF3), азотын трифторид (NF3), гексафторэтан (C2F6) болон октафторопропан (C3F8).
Нанотехнологи хөгжиж, электроникийн салбар өргөн цар хүрээтэй хөгжихийн хэрээр түүний эрэлт хэрэгцээ өдрөөс өдөрт нэмэгдэх болно. Азотын трифторид нь хавтан болон хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх, боловсруулахад зайлшгүй шаардлагатай, хамгийн их ашиглагддаг тусгай электрон хий бөгөөд зах зээлийн өргөн орон зайтай.
Фтор агуулсан тусгай хийн төрөл болохын хувьд,азотын трифторид (NF3)нь зах зээлийн хамгийн том багтаамжтай электрон тусгай хийн бүтээгдэхүүн юм. Энэ нь өрөөний температурт химийн хувьд идэвхгүй, өндөр температурт хүчилтөрөгчөөс илүү идэвхтэй, фтороос илүү тогтвортой, зохицуулахад хялбар байдаг. Азотын трифторидийг голчлон плазмын сийлбэр хий болон урвалын камер цэвэрлэгч бодис болгон ашигладаг бөгөөд хагас дамжуулагч чип, хавтгай самбарын дэлгэц, оптик шилэн кабель, фотоэлектрик эс гэх мэт үйлдвэрлэлийн салбарт тохиромжтой.
Бусад фтор агуулсан электрон хийнүүдтэй харьцуулахад,азотын трифторидхурдан урвалд орох, өндөр үр ашигтай байх давуу талуудтай. Ялангуяа цахиурын нитрид зэрэг цахиур агуулсан материалыг сийлэхэд өндөр сийлбэрийн хурд болон сонгомол чанартай тул сийлсэн объектын гадаргуу дээр үлдэгдэл үлдээдэггүй. Энэ нь мөн маш сайн цэвэрлэгээний бодис бөгөөд гадаргууг бохирдуулдаггүй тул боловсруулалтын процессын хэрэгцээг хангаж чаддаг.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 9-р сарын 14
