Нийтлэг фтор агуулсан тусгай цахим үйлдвэр орноСульфур Хексафлуорид (SF6), tungsten Hexafluide (WF6),нүүрстөрөгчийн тетрафлуорид (CF4), trifluoromethane (CHF3), nitrogen trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) and octafluoropropane (C3F8).
Нанотехнологийн хөгжил, электроникийн үйлдвэрлэлийн томоохон хөгжлийн хөгжил, энэ нь эрэлтийг өдөр өдрөөр нэмэгдүүлэх болно. Азот Трифлуорид нь үйлдвэрлэл, хагас цахим цахим, боловсруулалтыг боловсруулж, боловсруулж боловсруулж, хамгийн их ашиглагдаагүй тусгай цахим хий нь зах зээлийн өргөн хүрээний зайтай байдаг.
Флюрорен агуулсан тусгай хий,азот Трифлуорид (NF3)нь зах зээлийн хамгийн том хүчин чадалтай электрон тусгай үйлдвэр юм. Энэ нь өрөөний температурт химийн хувьд хэт өндөр температурт илүү өндөр температурт байдаг бөгөөд флюриналаас илүү тогтвортой, уян хатан байдаг. Азот Трифлуорид нь ихэвчлэн плазмын гаднах шатахуун, дамжуулагч цэвэрлэх чадвар, талт тасралч, фотиколик талбайнууд, хавтгай самбар, фотовольт эсийн талбарт тохиромжтой.
Бусад флюрин агуулсан электрон хийтэй харьцуулахадазот Трифлуоридхурдан урвал, өндөр үр ашгийн давуу талтай. Ялангуяа цахиурын нитрид зэрэг силикон агуулсан материалыг e сликон агуулсан, энэ нь etched обьектын гадаргуу дээр үлдэгдэлтэй байдаг. Энэ нь бас маш сайн цэвэрлэгээний агент бөгөөд боловсруулалтын үйл явцын хэрэгцээг хангаж чаддаг гадаргуу дээр бохирдол байдаггүй.
Бичлэгийн цаг: Sep-14-2024
