Нийтлэг фтор агуулсан тусгай электрон хийнүүд орнохүхрийн гексафторид (SF6), вольфрамын гексафторид (WF6),нүүрстөрөгчийн тетрафторид (CF4), трифторметан (CHF3), азотын трифторид (NF3), гексафтороэтан (C2F6) болон октафторпропан (C3F8).
Нано технологи хөгжихийн хэрээр электроникийн салбар өргөн цар хүрээтэй хөгжихийн хэрээр эрэлт хэрэгцээ нь өдрөөс өдөрт нэмэгдэх болно. Азотын трифторид нь хавтан, хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэх, боловсруулахад зайлшгүй шаардлагатай бөгөөд хамгийн том хэрэглэгддэг тусгай электрон хий бөгөөд зах зээлийн өргөн хүрээтэй байдаг.
Фтор агуулсан тусгай хийн нэг төрөл болохазотын трифторид (NF3)хамгийн том зах зээлийн багтаамжтай электрон тусгай хийн бүтээгдэхүүн юм. Энэ нь өрөөний температурт химийн хувьд идэвхгүй, өндөр температурт хүчилтөрөгчөөс илүү идэвхтэй, фтороос илүү тогтвортой, ажиллахад хялбар байдаг. Азотын трифторидыг ихэвчлэн плазмын сийлбэрийн хий, урвалын камер цэвэрлэх бодис болгон ашигладаг бөгөөд хагас дамжуулагч чипс, хавтгай дэлгэц, оптик утас, фотоволтайк эс гэх мэт үйлдвэрлэлийн салбарт тохиромжтой.
Бусад фтор агуулсан электрон хийтэй харьцуулахадазотын трифторидхурдан хариу үйлдэл үзүүлэх, өндөр үр ашигтай байх давуу талтай. Ялангуяа цахиурын нитрид зэрэг цахиур агуулсан материалыг сийлбэрлэхдээ сийлсэн объектын гадаргуу дээр ямар ч үлдэгдэл үлдээхгүй, сийлбэрлэх хурд, сонгомол чанар өндөртэй. Энэ нь мөн маш сайн цэвэрлэгээний бодис бөгөөд гадаргууг бохирдуулдаггүй бөгөөд энэ нь боловсруулалтын процессын хэрэгцээг хангаж чаддаг.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 9-р сарын 14-ний өдөр
