Вольфрамын гексафторид (WF6) нь CVD процессоор дамжин хавтангийн гадаргуу дээр хуримтлагдаж, металл холболтын шуудууг дүүргэж, давхаргуудын хоорондох металл холболтыг үүсгэдэг.
Эхлээд плазмын талаар ярилцъя. Плазм нь голчлон чөлөөт электрон ба цэнэгтэй ионоос бүрддэг бодисын нэг хэлбэр юм. Энэ нь орчлон ертөнцөд өргөн тархсан бөгөөд ихэвчлэн бодисын дөрөв дэх төлөв гэж тооцогддог. Үүнийг плазмын төлөв буюу "Плазма" гэж нэрлэдэг. Плазм нь өндөр цахилгаан дамжуулалттай бөгөөд цахилгаан соронзон оронтой хүчтэй холбогдох нөлөөтэй. Энэ нь электрон, ион, чөлөөт радикал, саармаг бөөмс, фотоноос бүрдсэн хагас ионжуулсан хий юм. Плазм нь өөрөө физик болон химийн идэвхтэй бөөмс агуулсан цахилгаан саармаг холимог юм.
Шулуухан тайлбар нь өндөр энергийн нөлөөн дор молекул нь ван дер Ваальсын хүч, химийн холбооны хүч болон Кулоны хүчийг даван туулж, бүхэлдээ төвийг сахисан цахилгаан хэлбэрийг бий болгоно. Үүний зэрэгцээ гаднаас дамжуулсан өндөр энерги нь дээрх гурван хүчийг даван туулдаг. Функц, электрон ба ионууд нь чөлөөт төлөвийг илэрхийлдэг бөгөөд үүнийг хагас дамжуулагч сийлбэрийн процесс, CVD процесс, PVD болон IMP процесс гэх мэт соронзон орны модуляцийн дор зохиомлоор ашиглаж болно.
Өндөр энерги гэж юу вэ? Онолын хувьд өндөр температур болон өндөр давтамжийн RF-ийг хоёуланг нь ашиглаж болно. Ерөнхийдөө өндөр температурт хүрэх бараг боломжгүй юм. Энэ температурын шаардлага хэт өндөр бөгөөд нарны температуртай ойролцоо байж болно. Үүнийг үйл явцад хүрэх боломжгүй юм. Тиймээс үйлдвэрлэл үүнийг хэрэгжүүлэхийн тулд ихэвчлэн өндөр давтамжийн RF ашигладаг. Плазмын RF нь 13MHz+ хүртэл өндөрт хүрч чаддаг.
Вольфрамын гексафторид нь цахилгаан орны нөлөөгөөр плазмжиж, дараа нь соронзон орны нөлөөгөөр ууршдаг. W атомууд нь өвлийн галууны өдтэй төстэй бөгөөд таталцлын нөлөөгөөр газарт унадаг. W атомууд аажмаар нүхэнд хуримтлагдаж, эцэст нь бүрэн нүхээр дүүргэгдэж металл холболт үүсгэдэг. Нүхэнд W атомуудыг хуримтлуулахаас гадна тэдгээр нь Ваферын гадаргуу дээр хуримтлагдах уу? Тийм ээ, мэдээж. Ерөнхийдөө та W-CMP процессыг ашиглаж болно, үүнийг бидний механик нунтаглах процесс гэж нэрлэдэг. Энэ нь их хэмжээний цасны дараа шалыг шүүрдэхтэй төстэй юм. Газар дээрх цас шүүрдэж арчигддаг ч газар дээрх нүхэн дэх цас хэвээр үлдэнэ. Доошоо, ойролцоогоор адилхан.
Нийтэлсэн цаг: 2021 оны 12-р сарын 24
