Гянт болд гексафторидын хэрэглээ (WF6)

Гянт болд гексафторид (WF6) нь CVD процессоор ялтсуудын гадаргуу дээр хуримтлагдаж, металл холболтын шуудууг дүүргэж, давхаргын хоорондох металл холболтыг үүсгэдэг.

Эхлээд плазмын талаар ярилцъя. Плазм бол чөлөөт электрон ба цэнэгтэй ионуудаас тогтдог материйн хэлбэр юм. Энэ нь орчлон ертөнцөд өргөн тархсан бөгөөд ихэвчлэн материйн дөрөв дэх төлөв гэж тооцогддог. Үүнийг плазмын төлөв гэж нэрлэдэг ба "плазм" гэж нэрлэдэг. Плазм нь өндөр цахилгаан дамжуулах чадвартай бөгөөд цахилгаан соронзон оронтой хүчтэй холбох нөлөөтэй байдаг. Энэ нь электрон, ион, чөлөөт радикалууд, төвийг сахисан тоосонцор, фотонуудаас бүрдэх хэсэгчилсэн ионжсон хий юм. Плазм нь өөрөө физик болон химийн идэвхтэй хэсгүүдийг агуулсан цахилгаан саармаг хольц юм.

Шууд тайлбар нь өндөр энергийн нөлөөн дор молекул нь ван дер Ваалсын хүч, химийн бондын хүч, Кулоны хүчийг даван туулж, төвийг сахисан цахилгаан хэлбэрийг бүхэлд нь харуулах болно. Үүний зэрэгцээ гаднаас өгч буй өндөр энерги нь дээрх гурван хүчийг давдаг. Функц, электрон ба ионууд нь чөлөөт төлөвийг харуулдаг бөгөөд үүнийг хагас дамжуулагч сийлбэрлэх процесс, CVD процесс, PVD болон IMP процесс гэх мэт соронзон орны модуляцийн дор зохиомлоор ашиглаж болно.

Өндөр энерги гэж юу вэ? Онолын хувьд өндөр температур ба өндөр давтамжийн RF-ийг хоёуланг нь ашиглаж болно. Ерөнхийдөө өндөр температурт хүрэх нь бараг боломжгүй юм. Энэ температурын шаардлага хэт өндөр бөгөөд нарны температуртай ойролцоо байж болно. Энэ үйл явцад хүрэх нь үндсэндээ боломжгүй юм. Тиймээс энэ салбарт хүрэхийн тулд ихэвчлэн өндөр давтамжийн RF ашигладаг. Плазмын RF нь 13MHz+ хүрч чаддаг.

Вольфрамын гексафторидыг цахилгаан талбайн нөлөөн дор плазмалж, дараа нь соронзон орны нөлөөгөөр уураар хуримтлуулдаг. W атомууд нь өвлийн галууны өдтэй төстэй бөгөөд таталцлын нөлөөн дор газарт унадаг. Аажмаар W атомууд нүхэнд хуримтлагдаж, эцэст нь металл холболт үүсгэхийн тулд нүхээр дүүрдэг. Нэвтрэх нүхэнд W атомуудыг байрлуулахаас гадна ваферын гадаргуу дээр мөн хуримтлагдах уу? Тийм ээ, гарцаагүй. Ерөнхийдөө та W-CMP процессыг ашиглаж болох бөгөөд үүнийг арилгахын тулд бид механик нунтаглах процесс гэж нэрлэдэг. Энэ нь их цасны дараа шүүр ашиглан шал шүүрдэхтэй адил юм. Газар дээрх цас арчигддаг ч газрын нүхний цас үлдэнэ. Доош, бараг адилхан.