Tungsten Hexafluoride (WF6)

Tungsten hexafluoride (wf6) нь CVD-ийн процессоор CVD-ийн гадаргуу дээр хадгалагдаж, давхаргын хоорондох металлын интервекцийг бөглөнө үү.

Эхлээд плазмын талаар ярилцъя. Плазма бол чөлөөт электрон, цэнэглэгдсэн ионуудаас бүрдсэн материалын хэлбэр юм. Энэ нь орчлон ертөнцөд өргөн хүрээнд байдаг бөгөөд ихэвчлэн дөрөв дэх төлөв гэж үздэг. Энэ нь плазмын төлөв гэж нэрлэгддэг бөгөөд мөн "плазм" гэж нэрлэдэг. Пласма нь өндөр цахилгааны дамжуулалттай бөгөөд цахилгаан соронзон талбартай хүчтэй холбогч нөлөө үзүүлдэг. Энэ нь хэсэгчлэн ионжуулсан ионжуулсан хий, ионж, чөлөөт радикал, төвийг сахисан хэсгүүд, фотонууд, фотонууд. Пласма өөрөө өөрөө төвийг сахисан хольц гэдэг нь физик болон химийн болон химийн идэвхтэй хэсгүүд агуулсан цахилгаан төвийг сахисан хольц юм.

Шууд тайлбар нь өндөр энергийн үйлдлийн дор байгаа бөгөөд молекул нь Молекул нь Ван дер Дерийн хүч, коуломын хүчийг даван туулж, бүхэл бүтэн цэвэрлэгээний хүчийг даван туулах болно. Үүний зэрэгцээ, гаднах өндөр энергийг гаднах өндөр энерги нь дээрх гурван хүчийг даван туулдаг. Функц, Электронууд, ионууд нь хагас дамжуулагч, cvd процесс, pvd процесс, pvd болон PVD ба IMP процессын дор зохиомол хэрэглэгддэг үнэгүй улсыг танилцуулж өгдөг.

Өндөр энерги гэж юу вэ? Онолын хувьд өндөр температур ба өндөр давтамжийн rf ашиглаж болно. Ерөнхийдөө ярьдаг, өндөр температур нь хүрэхэд бараг боломжгүй юм. Энэ температурын шаардлага хэт өндөр байна, нарны температурт ойрхон байж болно. Энэ нь үйл явцад хүрэхэд үндсэндээ боломжгүй юм. Тиймээс салбар нь ихэвчлэн хүрэхийн тулд өндөр давтамжтай RF ашигладаг. Plasma RF нь 13мхц + өндөрт хүрч чадна.

Tungrenten Hexafluide нь цахилгаан талбайн үйл ажиллагааны дагуу хийгдсэн бөгөөд дараа нь соронзон орон дээр хадгалдаг. W ATOMS нь өвлийн галууны өдтэй төстэй бөгөөд таталцлын үйл ажиллагааны дор газар руу ордог. Аажмаар, W атомыг нүхээр дамжуулж, эцэст нь нүхээр дүүргэж, эцэст нь металл холболтыг бүрдүүлдэг. Нүхээр дамжуулан W атомуудыг хадгалахаас гадна тэдгээрийг вафлын гадаргуу дээр хадгална уу? Тийм, мэдээж. Ерөнхийдөө W-CMP процессыг ашиглан та W-CMP процессыг ашиглаж болно, бид арилгах механик нунтаглах үйл явцыг юу гэж нэрлэдэг вэ. Хөнгөн цасны дараа шалыг шүүрдэхийн тулд шүүрч авахтай ижил төстэй юм. Газар дээр цас орж байна, гэхдээ газар дээрх нүхэнд цас орно. Доошоо, бараг ижил.