Электрониктусгай хийнүүднь тусгай хийн чухал салбар юм. Эдгээр нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн бараг бүх үе шатанд нэвтэрч, хэт том хэмжээний интеграл хэлхээ, хавтгай дэлгэцийн төхөөрөмж, нарны зай зэрэг электрон үйлдвэрлэлийн зайлшгүй түүхий эд болдог.

Хагас дамжуулагч технологид фтор агуулсан хий өргөн хэрэглэгддэг. Одоогийн байдлаар дэлхийн электрон хийн зах зээл дээр фтор агуулсан электрон хий нь нийт хэмжээний 30 орчим хувийг эзэлж байна. Фтор агуулсан электрон хий нь электрон мэдээллийн материалын салбарт тусгай электрон хийн чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Тэдгээрийг голчлон цэвэрлэгээний бодис, сийлбэрийн бодис болгон ашигладаг бөгөөд мөн хольц, хальс үүсгэх материал гэх мэт болгон ашиглаж болно. Энэ нийтлэлд зохиогч танд фтор агуулсан нийтлэг хийнүүдийг ойлгоход туслах болно.

Дараах нь фтор агуулсан хийд түгээмэл хэрэглэгддэг

Азотын трифторид (NF3): Урвалын камер болон тоног төхөөрөмжийн гадаргууг цэвэрлэх, тунадасыг цэвэрлэхэд ашигладаг хий.

Хүхрийн гексафторид (SF6)Исэлдүүлэх процесст болон тусгаарлагч орчныг дүүргэх тусгаарлагч хий болгон ашигладаг фторжуулагч бодис.

Устөрөгчийн фтор (HF): Цахиурын гадаргуугаас ислийг зайлуулах, цахиур болон бусад материалыг сийлэх зориулалттай сийлбэр болгон ашигладаг.

Азотын фторид (NF): Цахиурын нитрид (SiN) болон хөнгөн цагааны нитрид (AlN) зэрэг материалыг сийлэхэд ашигладаг.

Трифторметан (CHF3) болонтетрафторметан (CF4): Цахиурын фтор, хөнгөн цагааны фтор зэрэг фторын материалыг сийлэхэд ашигладаг.

Гэсэн хэдий ч фтор агуулсан хий нь хоруу чанар, зэврэлт, шатамхай чанар зэрэг тодорхой аюулуудтай байдаг.

Хордлого

Зарим фтор агуулсан хий нь хортой байдаг, тухайлбал устөрөгчийн фтор (HF) нь арьс, амьсгалын замыг маш их цочроож, хүний ​​эрүүл мэндэд хортой.

Зэврэлт

Устөрөгчийн фтор болон зарим фторууд нь маш их идэмхий бөгөөд арьс, нүд, амьсгалын замд ноцтой гэмтэл учруулж болзошгүй.

Шатамхай чанар

Зарим фтор нь шатамхай бөгөөд агаарт байгаа хүчилтөрөгч эсвэл устай урвалд орж, хүчтэй дулаан, хортой хий ялгаруулж, гал түймэр эсвэл дэлбэрэлт үүсгэж болзошгүй.

Өндөр даралтын аюул

Зарим фторжуулсан хий нь өндөр даралтын дор тэсрэх аюултай тул ашиглах, хадгалах үед онцгой анхаарал шаарддаг.

Байгаль орчинд үзүүлэх нөлөө

Фтор агуулсан хий нь агаар мандлын өндөр ашиглалтын хугацаатай бөгөөд GWP-ийн утгатай байдаг бөгөөд энэ нь агаар мандлын озоны давхаргад хортой нөлөө үзүүлдэг бөгөөд дэлхийн дулаарал, хүрээлэн буй орчны бохирдол үүсгэж болзошгүй юм.

Электроник зэрэг шинээр гарч ирж буй салбарт хийн хэрэглээ гүнзгийрсээр байгаа нь аж үйлдвэрийн хийн эрэлт хэрэгцээг улам бүр нэмэгдүүлж байна. Хятадын эх газарт ирэх хэдэн жилд хагас дамжуулагч, дэлгэцийн хавтан зэрэг томоохон электрон эд ангиудын үйлдвэрлэлийн хүчин чадал их хэмжээгээр нэмэгдэж, мөн электрон химийн материалын импортыг орлох эрэлт хэрэгцээ өндөр байгаатай холбогдуулан дотоодын электрон хийн үйлдвэрлэл өндөр өсөлттэй байх болно.