Цахимтусгай хийтусгай хийн чухал салбар юм. Эдгээр нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн бараг бүх хэсэгт нэвтэрч, хэт том интеграл хэлхээ, хавтгай дэлгэцийн төхөөрөмж, нарны зай зэрэг электрон үйлдвэрлэлийн зайлшгүй түүхий эд юм.

Хагас дамжуулагч технологид фтор агуулсан хий өргөн хэрэглэгддэг. Одоогийн байдлаар дэлхийн электрон хийн зах зээлд фтор агуулсан электрон хий нь нийт хэрэглээний 30 орчим хувийг эзэлж байна. Фтор агуулсан электрон хий нь цахим мэдээллийн материалын салбарт тусгай электрон хийн чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Тэдгээрийг голчлон цэвэрлэгээний бодис, сийлбэрийн бодис болгон ашигладаг бөгөөд нэмэлт бодис, хальс үүсгэгч материал гэх мэт ашиглаж болно. Энэ нийтлэлд зохиолч фтор агуулсан ердийн хийнүүдийг ойлгох болно.

Дараах нь фтор агуулсан хийг түгээмэл хэрэглэдэг

Азотын трифторид (NF3): Хурддасыг цэвэрлэх, арилгахад ашигладаг хий бөгөөд ихэвчлэн урвалын камер, төхөөрөмжийн гадаргууг цэвэрлэхэд ашигладаг.

Хүхрийн гексафторид (SF6): Исэл хуримтлуулах процесст болон тусгаарлагч материалыг дүүргэх тусгаарлагч хий болгон ашигладаг фторжуулагч бодис.

Устөрөгчийн хайлуур жонш (HF): Цахиурын гадаргуугаас ислийг арилгах, цахиур болон бусад материалыг сийлбэрлэх зориулалттай сийлбэр болгон ашигладаг.

Азотын фтор (NF): Цахиурын нитрид (SiN) болон хөнгөн цагаан нитрид (AlN) зэрэг материалыг сийлэхэд ашигладаг.

Трифлуорометан (CHF3) батетрафторметан (CF4): Цахиурын фтор, хөнгөн цагаан фтор зэрэг фторын материалыг сийлэхэд хэрэглэнэ.

Гэсэн хэдий ч фтор агуулсан хий нь хоруу чанар, идэмхий чанар, шатамхай зэрэг тодорхой аюултай байдаг.

Хордлого

Зарим фтор агуулсан хий нь хортой, тухайлбал устөрөгчийн фтор (HF) зэрэг уур нь арьс, амьсгалын замыг цочроох, хүний ​​эрүүл мэндэд хортой.

Идэмхий чанар

Устөрөгчийн фторид болон зарим фторууд нь идэмхий шинж чанартай бөгөөд арьс, нүд, амьсгалын замыг ноцтой гэмтээж болно.

Шатах чадвар

Зарим фторууд нь шатамхай бөгөөд агаарт байгаа хүчилтөрөгч эсвэл устай урвалд орж хүчтэй дулаан, хорт хий ялгаруулж, гал түймэр, дэлбэрэлт үүсгэж болзошгүй.

Өндөр даралтын аюул

Зарим фторжуулсан хий нь өндөр даралтын дор тэсрэх аюултай тул ашиглах, хадгалахад онцгой анхаарал шаарддаг.

Байгаль орчинд үзүүлэх нөлөө

Фтор агуулсан хийнүүд нь агаар мандлын озоны давхаргад хортой нөлөө үзүүлж, дэлхийн дулаарал, хүрээлэн буй орчны бохирдлыг үүсгэж болзошгүй өндөр хүчин чадалтай, GWP утгатай байдаг.

Электроник зэрэг шинээр гарч ирж буй салбарт хийн хэрэглээ гүнзгийрсээр байгаа нь үйлдвэрлэлийн хийн шинэ эрэлт хэрэгцээг бий болгож байна. Ойрын хэдэн жилд эх газрын Хятадад хагас дамжуулагч, дэлгэцийн хавтан зэрэг томоохон электрон эд ангиудын шинэ үйлдвэрлэлийн хүчин чадал, түүнчлэн электрон химийн материалын импортыг орлох эрэлт их байгаа зэрэгт тулгуурлан дотоодын электрон хийн үйлдвэрлэлийг эхлүүлэх болно. өсөлтийн өндөр хурдтай.