Юу вэнүүрстөрөгчийн тетрафторидХэрэгцээ нь юу вэ?
Нүүрстөрөгчийн тетрафторидТетрафторметан гэгддэг бөгөөд органик бус нэгдэл гэж тооцогддог. Үүнийг янз бүрийн интеграл хэлхээний плазмын сийлбэрийн процесст ашигладаг бөгөөд лазерын хий болон хөргөлтийн бодис болгон ашигладаг. Энэ нь хэвийн температур, даралтын дор харьцангуй тогтвортой боловч хүчтэй исэлдүүлэгч, шатамхай эсвэл шатамхай материалтай харьцахаас зайлсхийх шаардлагатай. Нүүрстөрөгчийн тетрафторид нь шатамхай бус хий юм. Хэрэв энэ нь өндөр халуунд өртвөл савны дотоод даралтыг нэмэгдүүлж, хагарал, дэлбэрэлт үүсэх аюултай. Ихэвчлэн энэ нь зөвхөн өрөөний температурт шингэн аммиак-натрийн металл урвалжтай харилцан үйлчилж чаддаг.
Нүүрстөрөгчийн тетрафторидодоогоор микроэлектроникийн салбарт хэрэглэгддэг хамгийн том плазмын сийлбэр хий юм. Үүнийг цахиур, цахиурын давхар исэл, фосфосиликат шил болон бусад нимгэн хальсан материалын сийлбэр, электрон төхөөрөмжийн гадаргууг цэвэрлэх, нарны зай хураагуур үйлдвэрлэх, лазер технологи, хийн фазын дулаалга, бага температурт хөргөлт, гоожих илрүүлэгч бодис, хэвлэмэл хэлхээний үйлдвэрлэлд угаалгын нунтаг зэрэгт өргөнөөр ашиглаж болно.
Нийтэлсэн цаг: 2021 оны 11-р сарын 1
