Силанцахиур ба устөрөгчийн нэгдэл бөгөөд цуврал нэгдлүүдийн ерөнхий нэр томъёо юм. Силан нь голчлон моносилан (SiH4), disilane (Si2H6) болон SinH2n+2 ерөнхий томьёотой зарим өндөр түвшний цахиурын устөрөгчийн нэгдлүүдийг агуулдаг. Гэсэн хэдий ч бодит үйлдвэрлэлд бид ерөнхийдөө моносиланыг (химийн томъёо SiH4) "силан" гэж нэрлэдэг.

Цахим зэрэглэлсилан хийЦахиурын нунтаг, устөрөгч, цахиурын тетрахлорид, катализатор гэх мэтийг янз бүрийн урвалаар нэрэх, цэвэршүүлэх замаар голчлон гаргаж авдаг. 3Н-4Н цэвэршилттэй силаныг үйлдвэрийн төрлийн, 6Н-ээс дээш цэвэршилттэй силаныг электрон- зэрэглэлийн силан хий.

Цахиурын эд ангиудыг зөөвөрлөх хийн эх үүсвэр болгон,силан хийөндөр цэвэршилттэй, нарийн хянах чадвартай учраас бусад олон цахиурын эх үүсвэрээр орлуулах боломжгүй онцгой чухал хий болсон. Моносилан нь пиролизийн урвалаар талст цахиур үүсгэдэг бөгөөд энэ нь одоогоор дэлхийн хэмжээнд мөхлөгт монокристалл цахиур болон поликристалл цахиурыг их хэмжээгээр үйлдвэрлэх аргуудын нэг юм.

Силаны шинж чанар

Силан (SiH4)агаартай урвалд орж амьсгал боогдуулдаг өнгөгүй хий юм. Үүний синоним нь цахиурын гидрид юм. Силаны химийн томъёо нь SiH4 бөгөөд түүний агууламж 99.99% хүрдэг. Өрөөний температур, даралтад силан нь эвгүй үнэртэй хорт хий юм. Силан хайлах цэг нь -185 ℃, буцлах цэг нь -112 ℃ байна. Өрөөний температурт силан нь тогтвортой боловч 400 ℃ хүртэл халаахад хийн цахиур болон устөрөгч болон бүрэн задардаг. Силан нь шатамхай, тэсрэх аюултай бөгөөд агаарт эсвэл галоген хийд тэсрэх аюултай.

Хэрэглээний талбарууд

Силан нь өргөн хүрээний хэрэглээтэй. Нарны зайг үйлдвэрлэх явцад цахиурын молекулуудыг эсийн гадаргууд бэхлэх хамгийн үр дүнтэй арга болохоос гадна хагас дамжуулагч, хавтгай дэлгэц, бүрсэн шил зэрэг үйлдвэрлэлийн үйлдвэрүүдэд өргөн хэрэглэгддэг.

СиланХагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд нэг талст цахиур, поликристалл цахиурын эпитаксиаль хавтан, цахиурын давхар исэл, цахиурын нитрид, фосфосиликат шил зэрэг химийн уурын хуримтлуулах үйл явцын цахиурын эх үүсвэр бөгөөд нарны зай, цахиур хувилагч хүрд үйлдвэрлэх, хөгжүүлэхэд өргөн хэрэглэгддэг. , фотоэлектрик мэдрэгч, оптик утас, тусгай шил.

Сүүлийн жилүүдэд дэвшилтэт керамик, нийлмэл материал, функциональ материал, биоматериал, өндөр энергитэй материал гэх мэтийг үйлдвэрлэх зэрэг силаны өндөр технологийн хэрэглээ гарч ирсээр байгаа нь олон шинэ технологи, шинэ материал, шинэ материалын үндэс суурь болж байна. төхөөрөмжүүд.