Силан (SiH4)

Техникийн үзүүлэлтүүд

Силан бол цахиур ба устөрөгчийн нэгдэл юм. Энэ нь моносилан (SiH4), дисилан (Si2H6) болон зарим өндөр түвшний цахиур-устөрөгчийн нэгдлүүд зэрэг цуврал нэгдлүүдийн ерөнхий нэр томъёо юм. Тэдгээрийн дотроос моносилан нь хамгийн түгээмэл бөгөөд заримдаа товчоор нь силан гэж нэрлэдэг. Силан бол сармисны эвгүй үнэртэй өнгөгүй хий юм. Усанд уусдаг, этанол, эфир, бензол, хлороформ, цахиурын хлороформ болон цахиурын тетрахлоридод бараг уусдаггүй. Силануудын химийн шинж чанар нь алкануудаас хамаагүй илүү идэвхтэй бөгөөд амархан исэлддэг. Агаартай харьцах үед аяндаа шаталт үүсч болно. Энэ нь 25°C-аас доош азоттой урвалд ордоггүй бөгөөд өрөөний температурт нүүрсустөрөгчийн нэгдлүүдтэй урвалд ордоггүй. Силан гал авалцаж, дэлбэрэх нь хүчилтөрөгчтэй урвалд орсны үр дүн юм. Силан нь хүчилтөрөгч ба агаарт маш мэдрэмтгий байдаг. Тодорхой концентрацитай силан нь -180°C температурт хүчилтөрөгчтэй тэсрэх урвалд ордог. Силан нь хагас дамжуулагч микроэлектроникийн процесст хэрэглэгддэг хамгийн чухал тусгай хий болсон бөгөөд дан талст хальс, микроталст, политалст, цахиурын исэл, цахиурын нитрид, металл силицид зэрэг янз бүрийн микроэлектроник хальс бэлтгэхэд ашиглагддаг. Силаныг микроэлектроникийн хэрэглээ нь гүнзгий хөгжиж байна: бага температурын эпитакси, сонгомол эпитакси, гетероэпитаксиал эпитакси. Зөвхөн цахиурын төхөөрөмж болон цахиурын интеграл хэлхээнд төдийгүй нийлмэл хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдэд (галлий арсенид, цахиурын карбид гэх мэт) мөн ашиглагддаг. Энэ нь мөн супер торлог квант худгийн материалыг бэлтгэхэд хэрэглэгддэг. Силаныг орчин үеийн бараг бүх дэвшилтэт интеграл хэлхээний үйлдвэрлэлийн шугамд ашигладаг гэж хэлж болно. Силаныг цахиур агуулсан хальс, бүрхүүл болгон ашиглах нь уламжлалт микроэлектроникийн салбараас ган, машин механизм, химийн бодис, оптик зэрэг янз бүрийн салбарт өргөжсөн. Силаныг ашиглах өөр нэг боломжит чиглэл бол өндөр хүчин чадалтай керамик хөдөлгүүрийн эд анги үйлдвэрлэх явдал бөгөөд ялангуяа силаныг силикид (Si3N4, SiC гэх мэт) бичил нунтаг технологи үйлдвэрлэхэд ашиглах нь улам бүр анхаарал татаж байна.

Хэрэглээ:

①Электроник:

Силаныг хагас дамжуулагч болон чигжээс үйлдвэрлэхдээ цахиурын вафли дээрх поликристалл цахиурын давхаргад хэрэглэнэ.

②Нарны эрчим хүч:

Силаныг нарны фотоволтайк модулийн үйлдвэрлэлд ашигладаг.

③Аж үйлдвэрийн:

Үүнийг Эрчим хүч хэмнэдэг Ногоон Шилэнд ашигладаг бөгөөд ууршуулах нимгэн хальсан процесст ашигладаг.

Ердийн багц:

Давуу тал:

①Зах зээл дээр арав гаруй жил ажилласан;

2 ISO гэрчилгээ үйлдвэрлэгч;

③Хурдан хүргэлт;

④Тогтвортой түүхий эдийн эх үүсвэр;

⑤Алхам бүрт чанарын хяналт хийх онлайн шинжилгээний систем;

⑥Цилиндрийг дүүргэхээс өмнө боловсруулах өндөр шаардлага, нарийн үйл явц;

⑦Цэвэр байдал: өндөр цэвэршилттэй электрон зэрэг;

⑧Хэрэглээ: нарны зай хураагуурын материал; өндөр цэвэршилттэй полисиликон, цахиурын исэл болон оптик шилэн материал үйлдвэрлэх; өнгөт шил үйлдвэрлэх.