Силан (SiH4)

Техникийн параметрүүд

Силан бол цахиур ба устөрөгчийн нэгдэл юм. Энэ нь моносилан (SiH4), дисилан (Si2H6) болон зарим өндөр түвшний цахиур-устөрөгчийн нэгдлүүд зэрэг хэд хэдэн нэгдлүүдийн ерөнхий нэр томъёо юм. Тэдгээрийн дотроос моносилан нь хамгийн түгээмэл бөгөөд заримдаа силан гэж нэрлэгддэг. Силан бол сармисны жигшүүртэй үнэртэй өнгөгүй хий юм. Усанд уусдаг, этанол, эфир, бензол, хлороформ, цахиурын хлороформ, цахиурын тетрахлорид бараг уусдаггүй. Силануудын химийн шинж чанар нь алканаас хамаагүй илүү идэвхтэй бөгөөд амархан исэлддэг. Агаартай харьцах үед аяндаа шаталт үүсч болно. Энэ нь 25 хэмээс доош температурт азоттой урвалд ордоггүй бөгөөд өрөөний температурт нүүрсустөрөгчийн нэгдлүүдтэй урвалд ордоггүй. Силаны гал, дэлбэрэлт нь хүчилтөрөгчтэй урвалд орсны үр дүн юм. Силан нь хүчилтөрөгч, агаарт маш мэдрэмтгий байдаг. Тодорхой концентрацитай силан нь -180 ° C-ийн температурт хүчилтөрөгчтэй тэсрэх урвалд ордог. Силан нь хагас дамжуулагч микроэлектроникийн процесст хэрэглэгддэг хамгийн чухал тусгай хий болсон бөгөөд нэг талст хальс, микрокристалл, поликристал, цахиурын исэл, цахиурын нитрид, металл силицид зэрэг янз бүрийн микроэлектроник хальс бэлтгэхэд ашиглагддаг. Силаны микроэлектроник хэрэглээ гүн гүнзгий хөгжиж байна: бага температурт эпитакси, сонгомол эпитакси, гетероэпитаксиаль эпитакси. Зөвхөн цахиурын төхөөрөмж, цахиурын нэгдсэн хэлхээнд төдийгүй нийлмэл хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдэд (галийн арсенид, цахиурын карбид гэх мэт) зориулагдсан. Энэ нь мөн superlattice квант худгийн материалыг бэлтгэхэд хэрэглэгддэг. Силаныг орчин үед бараг бүх дэвшилтэт нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэлийн шугамд ашиглаж байна гэж хэлж болно. Силаныг цахиур агуулсан хальс, бүрээс болгон ашиглах нь уламжлалт микроэлектроникийн салбараас ган, машин механизм, химийн бодис, оптик зэрэг төрөл бүрийн салбарт өргөжсөн. Силаны өөр нэг боломжит хэрэглээ бол өндөр хүчин чадалтай керамик хөдөлгүүрийн эд анги үйлдвэрлэх, ялангуяа силицид (Si3N4, SiC гэх мэт) микро нунтаг үйлдвэрлэхэд силан ашиглах нь улам бүр анхаарал татаж байна.

Хэрэглээ:

①Цахим:

Силаныг хагас дамжуулагч, чигжээс үйлдвэрлэхэд цахиур хавтан дээрх поликристалл цахиурын давхаргад хэрэглэнэ.

②Нарны:

Силаныг нарны фотоволтайк модулийн үйлдвэрлэлд ашигладаг.

③Үйлдвэрлэлийн:

Энэ нь эрчим хүчний хэмнэлттэй ногоон шилэнд хэрэглэгддэг ба уурын шингэний нимгэн хальс үүсгэх процесст хэрэглэгддэг.

Ердийн багц:

Давуу тал:

①Зах зээл дээр арав гаруй жил ажилласан;

②ISO гэрчилгээ үйлдвэрлэгч;

③Хурдан хүргэлт;

④Тогтвортой түүхий эдийн эх үүсвэр;

⑤Алхам бүрт чанарыг хянах онлайн шинжилгээний систем;

⑥Дүүргэхээс өмнө цилиндртэй харьцах өндөр шаардлага, нямбай процесс;

⑦Цэвэр байдал: өндөр цэвэршилттэй цахим зэрэг;

⑧Хэрэглээ: нарны зайн материал; өндөр цэвэршилттэй полисиликон, цахиурын исэл, оптик утас хийх; өнгөт шилний үйлдвэрлэл.